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半導體前端制造的晶圓光學檢測解決方案
時間：2020-6-3 17:58:14
▌▌系統(tǒng)要求該客戶是半導體行業(yè)中領先的晶圓制造公司，需要一個可以在CMP工藝過程中定位損壞和缺陷的檢查系統(tǒng)。由于晶片的特性材料，對表面純度和平面度進行無損，非接觸式，波長敏感的視覺檢查至關重要。視覺檢查系統(tǒng)需要與自動化機器人處理系統(tǒng)同步，以提高生產(chǎn)率。在線視覺檢測設備的目標是在保持生產(chǎn)率水平的同時提供高精度分析。客戶一直在尋找能夠快速執(zhí)行且具有高度精確的在線檢查功能的完整系統(tǒng)。客戶還希望減少安裝/維護工作量，因為存在許多不同種類的晶圓和缺陷類型。
▌▌系統(tǒng)描述研華的機器視覺邊緣解決方案已安裝為CMP系統(tǒng)。該系統(tǒng)包括CMP機械，機器人處理系統(tǒng)，視覺檢查系統(tǒng)和IT數(shù)據(jù)庫的上行數(shù)據(jù)。拋光晶片后，位置傳感器向視覺系統(tǒng)發(fā)送觸發(fā)信號。從不同的攝像機角度獲取了多幅圖像，并將其發(fā)送到視覺系統(tǒng)，在視覺系統(tǒng)中，VisionNavi軟件處理圖像以進行缺陷檢查，然后驗證晶片。如果檢測到缺陷，視覺系統(tǒng)會發(fā)出“ NG”信號來拒絕晶圓，或者發(fā)出“ OK”信號來拾取晶圓以進行下一步處理。圖像數(shù)據(jù)已還原并與客戶當前的企業(yè)數(shù)據(jù)庫集成。
▌▌系統(tǒng)架構▌▌解決方案組件
▌▌為什么選擇研華？研華的機器視覺檢測系統(tǒng)集成了全球快門，高速工業(yè)相機，多通道計算平臺和視覺軟件，因此用戶無需擔心如何選擇兼容的產(chǎn)品。VisionNavi軟件采用圖形化和圖形化設計?；诹鞒虉D的界面，用戶無需任何編程技能即可輕松完成視覺檢查應用程序的開發(fā)和部署。 研華助力智能制藥制造設備和機械 掃描二維碼 關注我們吧 聯(lián)系方式：0755-86652893,86652892 18165732527 18165735327 18165737293，歡迎致電聯(lián)系我們。 歡迎訪問我們的官方網(wǎng)站：www.galtecon.com |
